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WF₆

 
C’est actuellement le seul type stable et industrialisé de fluorure de tungstène.Il est principalement utilisé comme matière première dans le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) du tungstène dans l'industrie électronique.Le WSi2 fabriqué à partir de celui-ci peut être utilisé comme matériau de câblage dans des circuits intégrés à grande échelle, comme matière première d'électrode semi-conductrice, d'agent fluorure, de catalyseur de polymérisation et de matériau optique, etc.
 
 
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