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SIH₄

 
En tant que source de gaz fournissant des composants en silicium, le silane peut être utilisé pour fabriquer du polysilicium de haute pureté, du silicium monocristallin, du silicium microcristallin, du silicium amorphe, du nitrure de silicium, de l'oxyde de silicium, du silicium hétérogène et divers siliciures métalliques.
 
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